![193 nm immersion lithography](https://host.easylife.tw/files/Immersive%20Explorer.gif)
2015年7月23日—Theneedtoextend193nmimmersionlithographynecessitatesthedevelopmentofathirdgeneration(Gen-3)ofhighrefractiveindex(RI)fluids ...,2023年6月15日—“Theminimumresolutionofcurrentimmersion193scanners,with1.35NA,is80nm,withdoublepatterningth...
Immersion lithography
- 193奈米浸潤式微影技術
- 台積電浸潤式曝光
- 濕式微影
- 193 nm immersion lithography
- arf immersion
- 超紫外光
- 何謂微影技術
- 浸潤式微影技術
- 193 nm immersion lithography
- 浸潤式微影技術
- EUV lithography 原理
- what is immersion lithography
- arf immersion lithography
- lithography意思
- 浸潤式immersion微影技術
- 微影 技術應用
- immersion lithography ppt
- 浸潤式微影技術
- 維基百科
- EUV 曝光 原理
- 193奈米浸潤式微影技術
- immersion lithography 原理
- immersion lithography ppt
- 光罩原理
- euv原理
Theresolutionlimitfora1.35NAimmersiontooloperatingat193nmwavelengthis36nm.Goingbeyondthislimittosub-20nmnodesrequiresmultiple ...
** 本站引用參考文章部分資訊,基於少量部分引用原則,為了避免造成過多外部連結,保留參考來源資訊而不直接連結,也請見諒 **